レーザーを知る

レーザ分野で使用されている言葉を判りやすく解説します。

◆A

AFM

  • Atomic Force Microscopeの略で、原子間力顕微鏡のこと。プローブと呼ばれる微細な針で、非常に微小な形状などの測定に用いる。

AIMS

  • Aerial Image Measurement Systemの略で、空間像測定システムのこと。投影露光時の透過率のシミュレーションなどを行う測定器。

AOI

  • Automated Optical Inspectionの略で、配線ライン上に存在する欠陥位置を高速スキャンして得られる画像情報より自動検出するシステム。

◆B

Bee Scan方式

  • 蜂のように自在に速度一定で飛び回るように走査するLFT独自の走査方式

◆C

CSP

  • Chip Scale Packageの略でチップサイズの小型実装半導体パッケージのこと。

◆D

DSP

  • Digital Signal Processorの略でデジタル信号処理が単体で可能な半導体回路モジュール。画像処理や汎用性のある制御処理に使われている。

◆E

Er : YAG

  • Er(エルビウム)をドープしたYAG結晶(YAG:イットリウム-アルミニウム-ガーネット(Y3Al5O12)。 発振波長が2.94μmで水に対して吸収率が高いので歯科用レーザ治療に使われる。 レーザ光の伝送は中空ファイバーかフッ化物ファイバーが用いられる。

◆F

Fθレンズ

  • レーザ光の走査に用いられるレンズ。 レーザビームの集光位置(L)が焦点距離(f)とビーム入射角(θ)との積(f・θ)で決まり、 走査ミラー回転角(θ)に比例した等速の走査ができるのでレーザプリンタ、マーカ等に用いられる。

◆H

Ho:YAG

  • Ho(ホルミウム)をドープしたYAG結晶。発振波長が2.08μmで生体の軟硬組織部の治療用レーザ、特に結石破砕用に使用されている。

◆L

LCD

  • Liquid Crystal Displayの略で液晶デイスプレイのこと。

LD励起

  • 半導体レーザ(LD)を励起光源にした固体レーザの励起方式。

◆N

N.A.

  • Numerical Apertureの略で開口数を表す。一般的に対物レンズの場合、この値が大きいほど明るくて解像度が高く、加工性能が高い。

Nd:YAG

  • Nd(ネオジウム)をドープしたYAG結晶(YAG:イットリウム-アルミニウム-ガーネットY3Al5O12)。 発振波長が1.064μmで熱負荷、耐久性に優れたレーザ結晶。 一般的にYAGレーザと言えばこの結晶を使用した固体レーザを指す。

Nd:YLF

  • NdをドープしたYLF結晶(YLF:イットリウム-リチウム-フロライドYLiF4)。 発振波長が1.047μmで熱レンズ効果がYAG結晶より小さく、高ピークパルス用レーザに用いられることが多い。

Nd:YVO4

  • YVO4はYttrium Orthovanadateの略でYAG(Yttrium Aluminum Garnet)と並び代表的レーザ媒質。 固体レーザのレーザ結晶として安定性、耐久性に優れ、工業用固体レーザとして加工用途に広く使われています。

◆O

O/Sテスタ

  • LCD基板内に狭いピッチで並ぶ配線パターンの断線箇所の有無(オープン / ショート)などを非接触プローブを用いて検出するシステム。

OD

Optical Density(光学濃度)の略で、遮光膜であるCrの濃さを表す単位。通常フォトマスクのODは2.5~3程度。

◆S

SEM

  • Scanning Electron Microscopeの略で走査型電子顕微鏡のこと。微小形状や表面状態などのμmレベルの微細測定に使用される。

SHG

  • Second Harmonic Generationの略で第2高調波のこと。 YAGレーザの基本波(1.064μm)を非線形光学結晶を用いてグリーン光(SHG:0.532μm)に変換することが代表例である。

SMTモジュール

  • Surface Mount Transister Moduleの略で表面実装トランジスタのモジュールのこと。

◆T

THG

  • Third Harmonic Generationの略で第3高調波のこと。 YAGレーザの基本波(1.064μm)とSHG(0.532μm)とを非線形光学結晶に入射させて 和周波数の紫外光(THG:0.355μm)を発生させる変換が代表例である。

◆Y

YVO4

  • Yttrium Orthovanadateの略でYAG(Yttrium Aluminum Garnet)と並び代表的レーザ媒質。固体レーザのレーザ結晶として安定性、耐久性に優れ、工業用固体レーザとして加工用途に広く使われています。