ウェハマーカ

WAFER MARKER

トレーサビリティ向上に貢献

ウェハマーカ SL473シリーズ

Si、GaAsの他、 SiC、GaN等のウェハにもレーザマーキングが可能なモデルもラインナップ。ウェハ材質やサイズ、生産能力に応じた豊富なラインナップにより、半導体製造工程へのトレーサビリティ向上に貢献

特長

FEATURE

task_alt視認性の良い安定した印字

対象ウェハに適したレーザ発振器の搭載とレーザパワーの自動補正機能により視認性の良い安定した印字が可能です。

task_alt簡単操作で高い汎用性

レシピ変更の簡単操作でサイズや材質の異なるウェハへの印字も可能です。
(複数サイズ対応、裏面印字対応はオプション)

task_alt豊富なオプションと拡張性

オンライン通信、ウェハIDリーダー、マーキング検査機能、集塵ユニット

多生産仕様高スループットモデル

SL473FS / FTシリーズ

2キャリア仕様 、4キャリア仕様の2つのモデルをラインナップ

用途

PURPOSE

SL473FSシリーズ:Siウェハ、GaAsやInP等のウェハへのソフトマーキング

SL473FTシリーズ:上記ウェハ、SiC、GaNウェハ

主な仕様

SPECIFICATION

形式 SL473FSシリーズ SL473FTシリーズ
レーザの種類 Nd:YAG-SHGレーザ
波長:532nm
Nd:YLF-THGレーザ
波長:349nm
搭載キャリア数 2 or 4
ウェハサイズ 4, 5, 6, 8 インチ
(オプション:複数サイズ)
外形寸法[mm](※1) 約1,220(W)×1,244(D)×1,492(H)(2キャリア仕様)
約1,220(W)×1,646(D)×1,492(H)(4キャリア仕様)
本体重量 約850kg(2キャリア仕様)
約900kg(4キャリア仕様)
  • (※1)突起物は含みません