ウェハマーカ
WAFER MARKER
トレーサビリティ向上に貢献
ウェハマーカ SL473シリーズ
Si、GaAsの他、 SiC、GaN等のウェハにもレーザマーキングが可能なモデルもラインナップ。ウェハ材質やサイズ、生産能力に応じた豊富なラインナップにより、半導体製造工程へのトレーサビリティ向上に貢献
特長
FEATURE
視認性の良い安定した印字
対象ウェハに適したレーザ発振器の搭載とレーザパワーの自動補正機能により視認性の良い安定した印字が可能です。
簡単操作で高い汎用性
レシピ変更の簡単操作でサイズや材質の異なるウェハへの印字も可能です。
（複数サイズ対応、裏面印字対応はオプション）
豊富なオプションと拡張性
オンライン通信、ウェハIDリーダー、マーキング検査機能、集塵ユニット
300mmウェハ専用モデル
SL473GSシリーズ
Siへの吸収率が極めて高い Nd:YAG-SHGレーザを搭載
用途
PURPOSE
ベアSiウェハへのソフトマーキング、膜付きウェハへのマーキング
主な仕様
SPECIFICATION
| 形式 | SL473GSシリーズ |
|---|---|
| レーザの種類 | Nd:YAG-SHGレーザ 波長：532nm |
| 搭載キャリア数 | 1 or 2 |
| ウェハサイズ | 12インチ |
| 外形寸法[mm]（※1） | 約1,640(W)×1,920(D)×1,550(H) |
| 本体重量 | 約1,000kg |
- （※1）突起物は含みません
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