製品紹介

LASER WELDER

ウェハマーカSL473シリーズ

形式 SL473DS5 SL473DT5 SL473FS5 SL473FT5 SL473GS5
レーザの種類 Nd:YAGレーザ(SHG)
波長:532nm
Nd:YLFレーザ(THG)
波長:349nm
Nd:YAGレーザ(SHG)
波長:532nm
Nd:YLFレーザ(THG)
波長:349nm
Nd:YAGレーザ(SHG)
波長:532nm
文字フォント SEMI-OCR(ドット,イングレービング),OCR-B(イングレービング)
印字面 ウェハ表面(オプション:裏面,両面)
スループット(※1) 70枚/h 240枚/h 170枚/h
搭載キャリア数 1 2 or 4 1 or 2
ウェハサイズ 4, 5, 6, 8 インチ
(オプション:2,3インチ,
複数サイズ)
4, 5, 6, 8 インチ
(オプション:複数サイズ)
12インチ
電源電圧 AC200V±20V , 15A ,
単相 , 50/60Hz
AC200V±20V , 20A , 単相 , 50/60Hz
真空用力 -77±10kPa , 0.01㎥/min
圧空用力 490kPa以上 , 0.01㎥/min 不要 560±40kPa,
0.01㎥/min
他 主なオプション オンライン通信, 集塵ユニット, ウェハIDリーダー ,マーキング検査機能 他
外形寸法
(※2)
[mm]
約1,100(W)
×1,500(D)
×1,505(H)
約1,220(W)
×1,344(D)
×1,492(H)
(2キャリア仕様)

約1,220(W)
×1,646(D)
×1,492(H)
(4キャリア仕様)
約1,640(W)
×1,920(D)
×1,550(H)
本体重量 約650kg 約850kg(2キャリア仕様)
約900kg(4キャリア仕様)
約1,000kg

(※1)印字条件:文字サイズ1.6mm、12文字、5×9ドット、1ショット
(※2)突起物は含みません
(※3)装置排気対応は別途ご相談