
ウェハマーカSL473シリーズ
形式 | SL473DS5 | SL473DT5 | SL473FS5 | SL473FT5 | SL473GS5 |
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レーザの種類 | Nd:YAGレーザ(SHG) 波長:532nm |
Nd:YLFレーザ(THG) 波長:349nm |
Nd:YAGレーザ(SHG) 波長:532nm |
Nd:YLFレーザ(THG) 波長:349nm |
Nd:YAGレーザ(SHG) 波長:532nm |
文字フォント | SEMI-OCR(ドット,イングレービング),OCR-B(イングレービング) | ||||
印字面 | ウェハ表面(オプション:裏面,両面) | ||||
スループット(※1) | 70枚/h | 240枚/h | 170枚/h | ||
搭載キャリア数 | 1 | 2 or 4 | 1 or 2 | ||
ウェハサイズ | 4, 5, 6, 8 インチ (オプション:2,3インチ, 複数サイズ) |
4, 5, 6, 8 インチ (オプション:複数サイズ) |
12インチ | ||
電源電圧 | AC200V±20V , 15A , 単相 , 50/60Hz |
AC200V±20V , 20A , 単相 , 50/60Hz | |||
真空用力 | -77±10kPa , 0.01㎥/min | ||||
圧空用力 | 490kPa以上 , 0.01㎥/min | 不要 | 560±40kPa, 0.01㎥/min |
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他 主なオプション | オンライン通信, 集塵ユニット, ウェハIDリーダー ,マーキング検査機能 他 | ||||
外形寸法 (※2) [mm] |
約1,100(W) ×1,500(D) ×1,505(H) |
約1,220(W) ×1,344(D) ×1,492(H) (2キャリア仕様) 約1,220(W) ×1,646(D) ×1,492(H) (4キャリア仕様) |
約1,640(W) ×1,920(D) ×1,550(H) |
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本体重量 | 約650kg | 約850kg(2キャリア仕様) 約900kg(4キャリア仕様) |
約1,000kg |
(※1)印字条件:文字サイズ1.6mm、12文字、5×9ドット、1ショット
(※2)突起物は含みません
(※3)装置排気対応は別途ご相談