ウェハマーカ SL473シリーズ
| 形式 |
SL473DT2 |
SL473DS2 |
SL473FS4 |
SL473GS3 |
| レーザの種類 |
Nd:YLFレーザ（THG）
波長：349nm |
Nd:YLFレーザ（SHG）
波長：523nm |
| 文字フォント |
SEMI-OCR（ドット,イングレービング）,OCR-B（イングレービング） |
| 印字面 |
ウェハ表面（オプション：裏面，両面） |
| スループット（※１） |
70枚/h |
70枚/h |
240枚/h |
170枚/h |
| 搭載キャリア数 |
1 |
1 |
2（オプション：4） |
1（オプション：2） |
| ウェハサイズ |
4, 5, 6 インチ
（オプション：3, 8インチ ,複数サイズ） |
5, 6, 8 インチ
（オプション：4インチ,
複数サイズ） |
12インチ |
| 入力電源 |
AC200V±20V , 15A , 単相 , 50/60Hz |
AC200V±20V , 20A , 単相 , 50/60Hz |
| 真空引力 |
-77±10kPa , 0.01㎥/min |
| 圧空用力 |
490kPa以上 , 0.01㎥/min |
不要 |
490kPa以上,
0.01㎥/min |
| 他 主なオプション |
オンライン通信, 集塵ユニット, ウェハＩＤリーダー , 他 |
外形寸法（※２）
[mm] |
約1,100(W)×1,200(D)×1,500(H) |
約1,220(W)×1,100(D)×1,455(H) |
約1,640(W)×1,690(D)×1,550(H) |
| 本体重量 |
約600kg |
約630kg |
約900kg |
（※１）印字条件：文字サイズ１．６ｍｍ、12文字、５×９ドット、１ショット
（※２）突起部は含みません。
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