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製品解説 特徴・利点 概要・仕様

ウェハマーカ SL473シリーズ

形式 SL473DT2 SL473DS2 SL473FS4 SL473GS3
レーザの種類 Nd:YLFレーザ(THG)
波長:349nm
Nd:YLFレーザ(SHG)
波長:523nm
文字フォント SEMI-OCR(ドット,イングレービング),OCR-B(イングレービング)
印字面 ウェハ表面(オプション:裏面,両面)
スループット(※1) 70枚/h 70枚/h 240枚/h 170枚/h
搭載キャリア数 1 1 2(オプション:4) 1(オプション:2)
ウェハサイズ 4, 5, 6 インチ
(オプション:3, 8インチ ,複数サイズ)
5, 6, 8 インチ
(オプション:4インチ,
複数サイズ)
12インチ
入力電源 AC200V±20V , 15A , 単相 , 50/60Hz AC200V±20V , 20A , 単相 , 50/60Hz
真空引力 -77±10kPa , 0.01㎥/min
圧空用力 490kPa以上 , 0.01㎥/min 不要 490kPa以上,
0.01㎥/min
他 主なオプション オンライン通信, 集塵ユニット, ウェハIDリーダー , 他
外形寸法(※2)
[mm]
約1,100(W)×1,200(D)×1,500(H) 約1,220(W)×1,100(D)×1,455(H) 約1,640(W)×1,690(D)×1,550(H)
本体重量 約600kg 約630kg 約900kg

(※1)印字条件:文字サイズ1.6mm、12文字、5×9ドット、1ショット
(※2)突起部は含みません。