ウェハマーカSL473シリーズ
| 形式 | SL473DS5 | SL473DT5 | SL473FS5 | SL473FT5 | SL473GS5 |
|---|---|---|---|---|---|
| レーザの種類 | Nd:YAGレーザ（SHG） 波長：532nm |
Nd:YLFレーザ（THG） 波長：349nm |
Nd:YAGレーザ（SHG） 波長：532nm |
Nd:YLFレーザ（THG） 波長：349nm |
Nd:YAGレーザ（SHG） 波長：532nm |
| 文字フォント | SEMI-OCR（ドット,イングレービング）,OCR-B（イングレービング） | ||||
| 印字面 | ウェハ表面（オプション：裏面，両面） | ||||
| スループット（※１） | 70枚/h | 240枚/h | 170枚/h | ||
| 搭載キャリア数 | 1 | 2 or 4 | 1 or 2 | ||
| ウェハサイズ | 4, 5, 6, 8 インチ （オプション：2,3インチ, 複数サイズ） |
4, 5, 6, 8 インチ （オプション：複数サイズ） |
12インチ | ||
| 電源電圧 | AC200V±20V , 15A , 単相 , 50/60Hz |
AC200V±20V , 20A , 単相 , 50/60Hz | |||
| 真空用力 | -77±10kPa , 0.01㎥/min | ||||
| 圧空用力 | 490kPa以上 , 0.01㎥/min | 不要 | 560±40kPa, 0.01㎥/min |
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| 他 主なオプション | オンライン通信, 集塵ユニット, ウェハＩＤリーダー ,マーキング検査機能 他 | ||||
| 外形寸法 （※２） [mm] |
約1,100(W) ×1,500(D) ×1,505(H) |
約1,220(W) ×1,344(D) ×1,492(H) （2キャリア仕様） 約1,220(W) ×1,646(D) ×1,492(H) （4キャリア仕様） |
約1,640(W) ×1,920(D) ×1,550(H) |
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| 本体重量 | 約650kg | 約850kg（2キャリア仕様） 約900kg（4キャリア仕様） |
約1,000kg | ||
（※１）印字条件：文字サイズ1.6ｍｍ、12文字、5×9ドット、1ショット
（※２）突起物は含みません
（※３）装置排気対応は別途ご相談