半導体ウェハの表面および裏面（※１）に品名､製造ロット番号等の管理番号をレーザーマーキングする装置です。（※１）裏面印字オプション

Ｓｉ、ＧａＡｓウェハの他 ＵＶレーザ搭載モデルのＳＬ４７３ＤＴ５／ＦＴ５ではＳｉＣ、GaN等のウェハにもレーザーマーキングが可能です。