半導体ウェハの表面および裏面(※1)に品名、製造ロット番号等の管理番号をレーザーマーキングする装置です。(※1)裏面印字オプション Si、GaAsウェハの他 UVレーザ搭載モデルのSL473DT6/FT6ではSiC、GaN等のウェハにもレーザーマーキングが可能です。 ページの上に戻る