次世代材料用モデル（ＤＴ２）、少生産仕様低価格モデル（ＤＳ２）、多生産仕様高スループットモデル（ＦＳ４）、３００ｍｍウェハ専用モデル（ＧＳ３）計４モデルをラインアップ
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ウェハマーカ SL473シリーズ半導体ウェハの表面および裏面（※１）に品名､製造ロット番号等の管理番号をレーザーマーキングする装置です。（※１）裏面印字オプション
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| ＝オプション＝ ３，８インチ、複数サイズ対応 |
＝オプション＝ ３，８インチ、複数サイズ対応 |
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| =オプション= ４インチ､複数サイズ対応､４キャリア仕様 |
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