ウェハマーカ SL473シリーズ

完全空冷LD励起レーザとレーザー出力自動補正機能により長期的に安定した高品質マーキング、長期メンテナンスフリー化を実現しました。

ウェハＩＤリーダ（※１）による印字確認機能、オンライン通信対応（※１）等、拡張性に優れています。※１＝オプション

特長１．簡単操作

・15インチ液晶タッチパネルにより、見やすい画面で簡単操作を実現。

・レシピ変更の簡単操作でウェハサイズ変更可能 ※オプション

特長２．履歴保存

・生産履歴、エラー履歴、通信履歴はログに保存されます。

特長３、用途に応じた印字仕様対応

• ウェハ表面/裏面マーキング（表裏切替可能）（※1）
• ソフトマーキング
• ハードマーキング（※1）
• ＧａＡｓウェハ対応（※1）
• SiC,GaNウェハ対応（SL473DT5/FT5）  ※1=オプション

ソフトマーキング

SiC

GaN