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製品解説 特徴・利点 概要・仕様

ウェハマーカ SL473シリーズ

完全空冷LD励起レーザとレーザー出力自動補正機能により長期的に安定した高品質マーキング、長期メンテナンスフリー化を実現しました。

ウェハIDリーダ(※1)による印字確認機能、
オンライン通信対応(※1)等、拡張性に優れています。※1=オプション

特長1. 簡単操作

・15インチ液晶タッチパネルにより、見やすい画面で 簡単操作を実現。
・レシピ変更の簡単操作でウェハサイズ変更可能 ※1

簡単操作<

特長2. 履歴保存

・生産履歴、エラー履歴、通信履歴は ログに保存されます。

 履歴保存

特長3. 用途に応じた印字仕様対応

・ウェハ表面/裏面マーキング(表裏切替可能)※1
・ソフトマーキング
・ハードマーキング ※1
・GaAsウェハ対応 ※1
・SiC,GaNウェハ対応(SL473DT2)  ※1=オプション

  ソフトマーキング
  SiC
  GaN
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