製品紹介

LASER WELDER

ウェハマーカ SL473シリーズ

完全空冷LD励起レーザとレーザー出力自動補正機能により長期的に安定した高品質マーキング、長期メンテナンスフリー化を実現しました。

ウェハIDリーダ(※1)による印字確認機能、オンライン通信対応(※1)等、拡張性に優れています。※1=オプション

特長1.簡単操作

・15インチ液晶タッチパネルにより、見やすい画面で簡単操作を実現。

・レシピ変更の簡単操作でウェハサイズ変更可能 ※オプション


簡単操作

特長2.履歴保存

・生産履歴、エラー履歴、通信履歴はログに保存されます。


簡単操作

特長3、用途に応じた印字仕様対応

  • ウェハ表面/裏面マーキング(表裏切替可能)(※1)
  • ソフトマーキング
  • ハードマーキング(※1)
  • GaAsウェハ対応(※1)
  • SiC,GaNウェハ対応(SL473DT5/FT5)  ※1=オプション

ソフトマーキング

ソフトマーキング


SiC

SiC


GaN

GaN