
ウェハマーカ SL473シリーズ
完全空冷LD励起レーザとレーザー出力自動補正機能により長期的に安定した高品質マーキング、長期メンテナンスフリー化を実現しました。
ウェハIDリーダ(※1)による印字確認機能、オンライン通信対応(※1)等、拡張性に優れています。※1=オプション
特長1.簡単操作
・15インチ液晶タッチパネルにより、見やすい画面で簡単操作を実現。
・レシピ変更の簡単操作でウェハサイズ変更可能 ※オプション

特長2.履歴保存
・生産履歴、エラー履歴、通信履歴はログに保存されます。

特長3、用途に応じた印字仕様対応
- ウェハ表面/裏面マーキング(表裏切替可能)(※1)
- ソフトマーキング
- ハードマーキング(※1)
- GaAsウェハ対応(※1)
- SiC,GaNウェハ対応(SL473DT5/FT5) ※1=オプション

ソフトマーキング

SiC

GaN