PRODUCT
製品紹介
ウェハマーカ SL473Dシリーズ
半導体ウェハに 品名、ロット番号等の管理番号をレーザマーキングする装置です。１ポートのスタンダードモデルです。
ウェハマーカの他のモデルはこちらから
製品紹介
視認性の良い安定した印字
対象ウェハに適したレーザ発振器の搭載とレーザパワーの自動補正機能により視認性の良い安定した印字が可能です。
簡単操作で高い汎用性
レシピ変更の簡単操作で サイズや材質の異なるウェハへの印字も可能です。（複数サイズ対応、裏面印字対応はオプション）
豊富なオプションと拡張性
オンライン通信、ウェハIDリーダー、マーキング検査機能、集塵ユニット
用途
SL473DS6：
Siウェハ、GaAsやInP等のウェハへのソフトマーキング
SL473DT6：
上記ウェハ、SiC、GaNウェハ
概要・仕様
ウェハマーカSL473Dシリーズ
| 形式 | SL473DS6 | SL473DT6 |
|---|---|---|
| レーザの種類 | Nd:YAG-SHGレーザ 波長：532nm |
Nd:YLF-THGレーザ 波長：349nm |
| 文字フォント | SEMI-OCR（ドット,イングレービング）, OCR-B（イングレービング） |
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| 印字面 | ウェハ表面（オプション：裏面，両面） | |
| スループット（※１） | 70枚/h | |
| 搭載キャリア数 | 1 | |
| ウェハサイズ | 4, 5, 6, 8 インチ （オプション：2,3インチ,複数サイズ） |
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| 電源電圧 | AC200V±20V , 15A ,単相 , 50/60Hz | |
| 真空用力 | -77±10kPa | |
| 圧空用力 | 490kPa以上 | |
| 主なオプション | オンライン通信, 集塵ユニット, ウェハＩＤリーダー, マーキング検査機能 他 |
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| 外形寸法[mm]（※２） | 約1,100(W)×1,500(D)×1,505(H) | |
| 本体重量 | 約650kg | |
（※１）印字条件：文字サイズ1.6ｍｍ、12文字、5×9ドット、1ショット
（※２）突起物は含みません
（※３）装置排気対応は別途ご相談
