歯車PRODUCT

製品紹介

ウェハマーカ SL473Dシリーズ

半導体ウェハに 品名、ロット番号等の管理番号をレーザマーキングする装置です。1ポートのスタンダードモデルです。

ウェハマーカの他のモデルはこちらから

SL473Fシリーズ

SL473GS

SL473Dイメージ

歯車製品紹介

視認性の良い安定した印字

対象ウェハに適したレーザ発振器の搭載とレーザパワーの自動補正機能により視認性の良い安定した印字が可能です。

簡単操作で高い汎用性

レシピ変更の簡単操作で サイズや材質の異なるウェハへの印字も可能です。(複数サイズ対応、裏面印字対応はオプション)

豊富なオプションと拡張性

オンライン通信、ウェハIDリーダー、マーキング検査機能、集塵ユニット

歯車用途

SL473DS6:

Siウェハ、GaAsやInP等のウェハへのソフトマーキング


SL473DT6:

上記ウェハ、SiC、GaNウェハ

SL473イメージ

歯車概要・仕様

ウェハマーカSL473Dシリーズ


形式 SL473DS6 SL473DT6
レーザの種類 Nd:YAG-SHGレーザ
波長:532nm
Nd:YLF-THGレーザ
波長:349nm
文字フォント SEMI-OCR(ドット,イングレービング),
OCR-B(イングレービング)
印字面 ウェハ表面(オプション:裏面,両面)
スループット(※1) 70枚/h
搭載キャリア数 1
ウェハサイズ 4, 5, 6, 8 インチ
(オプション:2,3インチ,複数サイズ)
電源電圧 AC200V±20V , 15A ,単相 , 50/60Hz
真空用力 -77±10kPa
圧空用力 490kPa以上
主なオプション オンライン通信, 集塵ユニット, ウェハIDリーダー,
マーキング検査機能 他
外形寸法[mm](※2) 約1,100(W)×1,500(D)×1,505(H)
本体重量 約650kg

(※1)印字条件:文字サイズ1.6mm、12文字、5×9ドット、1ショット
(※2)突起物は含みません
(※3)装置排気対応は別途ご相談