PRODUCT
製品紹介
ウェハマーカ SL473Dシリーズ
半導体ウェハに 品名、ロット番号等の管理番号をレーザマーキングする装置です。1ポートのスタンダードモデルです。
ウェハマーカの他のモデルはこちらから

製品紹介
視認性の良い安定した印字
対象ウェハに適したレーザ発振器の搭載とレーザパワーの自動補正機能により視認性の良い安定した印字が可能です。
簡単操作で高い汎用性
レシピ変更の簡単操作で サイズや材質の異なるウェハへの印字も可能です。(複数サイズ対応、裏面印字対応はオプション)
豊富なオプションと拡張性
オンライン通信、ウェハIDリーダー、マーキング検査機能、集塵ユニット
用途
SL473DS6:
Siウェハ、GaAsやInP等のウェハへのソフトマーキング
SL473DT6:
上記ウェハ、SiC、GaNウェハ

概要・仕様
ウェハマーカSL473Dシリーズ
形式 | SL473DS6 | SL473DT6 |
---|---|---|
レーザの種類 | Nd:YAG-SHGレーザ 波長:532nm |
Nd:YLF-THGレーザ 波長:349nm |
文字フォント | SEMI-OCR(ドット,イングレービング), OCR-B(イングレービング) |
|
印字面 | ウェハ表面(オプション:裏面,両面) | |
スループット(※1) | 70枚/h | |
搭載キャリア数 | 1 | |
ウェハサイズ | 4, 5, 6, 8 インチ (オプション:2,3インチ,複数サイズ) |
|
電源電圧 | AC200V±20V , 15A ,単相 , 50/60Hz | |
真空用力 | -77±10kPa | |
圧空用力 | 490kPa以上 | |
主なオプション | オンライン通信, 集塵ユニット, ウェハIDリーダー, マーキング検査機能 他 |
|
外形寸法[mm](※2) | 約1,100(W)×1,500(D)×1,505(H) | |
本体重量 | 約650kg |
(※1)印字条件:文字サイズ1.6mm、12文字、5×9ドット、1ショット
(※2)突起物は含みません
(※3)装置排気対応は別途ご相談