歯車PRODUCT

製品紹介

ウェハマーカ SL473Fシリーズ

半導体ウェハに 品名、ロット番号等の管理番号をレーザマーキングする装置です。2ポートの高スループットモデルです。

ウェハマーカの他のモデルはこちらから

SL473Dシリーズ

SL473GS

SL473FSFTイメージ

歯車製品紹介

視認性の良い安定した印字

対象ウェハに適したレーザ発振器の搭載とレーザパワーの自動補正機能により視認性の良い安定した印字が可能です。

簡単操作で高い汎用性

レシピ変更の簡単操作でサイズや材質の異なるウェハへの印字も可能です。(複数サイズ対応、裏面印字対応はオプション)

豊富なオプションと拡張性

オンライン通信、ウェハIDリーダー、マーキング検査機能、集塵ユニット

歯車用途

SL473FS6:

Siウェハ、GaAsやInP等のウェハへのソフトマーキング


SL473FT6:

上記ウェハ、SiC、GaNウェハ

SL473イメージ

歯車概要・仕様

ウェハマーカSL473Fシリーズ


形式 SL473FS6 SL473FT6
レーザの種類 Nd:YAG-SHGレーザ
波長:532nm
Nd:YLF-THGレーザ
波長:349nm
文字フォント SEMI-OCR(ドット,イングレービング),
OCR-B(イングレービング)
印字面 ウェハ表面(オプション:裏面,両面)
スループット(※1) 240枚/h
搭載キャリア数 2 or 4
ウェハサイズ 4, 5, 6, 8 インチ
(オプション:複数サイズ)
電源電圧 AC200V±20V , 20A , 単相 , 50/60Hz
真空用力 -77±10kPa
圧空用力 不要
主なオプション オンライン通信, 集塵ユニット, ウェハIDリーダー,
マーキング検査機能 他
外形寸法[mm](※2)
約1,220(W)×1,230(D)×1,496(H)(2キャリア仕様)
約1,220(W)×1,646(D)×1,496(H)(4キャリア仕様)
本体重量 約850kg(2キャリア仕様)
約900kg(4キャリア仕様)

(※1)印字条件:文字サイズ1.6mm、12文字、5×9ドット、1ショット
(※2)突起物は含みません
(※3)装置排気対応は別途ご相談